微小气体质量流量计 组成部件: ? 气体质量流量控制器由质量流量传感器,分流器通道,流量控制调节阀和放大控制电路等部件组成。 ? 气体质量流量计:无流量控制调节阀部件 工作原理: ? 采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量,可以不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大,然后与设定的电压进行比较,用所得的差值信号去驱动控制调节阀门,闭环控制流过通道的量使之与设定的流量相等。 应用领域: ? 广泛应用于半导体、真空、太阳能、分析仪器、光电、制气、医疗、电力、化工等各个领域。 产品分类: ? 模拟型流量计/控制器(不带显示,模拟信号输出0~5VDC或4~20mA,需配二次仪表、PLC使用) ? 数字式分体流量计/控制器(XD300,不带显示,模拟和数字信号0~5VDC或4~20mA/RS232或RS485输出,需配二次仪表、计算机、PLC) ? 数字式一体流量计/控制器(XD600,带显示,模拟和数字信号0~5VDC或4~20mA/RS232或RS485输出,可配计算机、PLC) 主要技术指标: 注意事项: ? 测量介质:气体必须净化,切忌粉尘、液体和油污。 ? 工作压差:要特别注意工作介质的气压,应注意使控制器进出气口两端的工作压差保持在指标范围之内。工作压差不在规定的范围内,流量将无法关闭或调小。在使用大流量的质量流量控制器时,要注意适当加粗管道和减小气源内阻,若工作压差小于要求值,有可能流量达不到满量程值。(建议客户:在进出口处安装压力表) ? 气体质量控制器:控制器电磁调节阀并不能当做气路截止阀使用,需客户在控制器进口处安装截止阀。 ? 阀控操作注意:在阀控操作为“清洗”后不能直接转为“阀控”状态,应先切换至“关闭”状态。